应用领域

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从分子到产业，每一步都是价值跃升

半导体领域

PBI（聚苯并咪唑）作为高性能特种高分子材料，具备卓越热稳定性、高纯度、耐强腐蚀等特性，适配半导体制造苛刻工况，是高端设备及核心部件的优选材质，为产业高端化发展提供关键支撑。 
核心制造工艺，蚀刻环节，超高纯度 PBI 用于腔室密封件、升降销等，减少晶圆污染、提升良率； 
薄膜沉积环节，适配 CVD、PVD 工艺，用于腔室内衬及密封件，保障工艺稳定； 
光刻环节，用于高温绝缘及晶圆承载组件，保障光刻精度。 
设备配套方面，PBI 制造晶圆夹具、聚焦环等，降低污染、延长部件寿命；还用于密封件、绝缘衬垫等，提升设备可靠性，降低维护成本。 
辅助制造中，适配晶圆清洗、检测环节，保障清洗效果与检测精准度。
超高纯度 PBI 应用日益广泛，成为高端半导体制造不可或缺的关键材料，助力产业升级。

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